產品參數/ Product parameter
產品實物圖片：
產品選型：
產品特點：
- RC型水泥機構
- 高穩定度／高精確度，以確保機臺本身不受任何外界干擾
- 防震及充分安全的生產環境
- 最精確的生產制程使您及您的客戶無后顧之憂
- 安全生產以節省更多后續維修成本
產品優點：在大部分的情況下此一標準不易達到。通常是一些雷射為主，行程較長、聚集點較小的設備才會要求此一振動環境
產品詳情：
- 機臺有嚴格的振動規范或設備安裝環境地點振動大于設備需求規范，采用主動式隔震設備達到最佳隔震
- 機臺有震動需求，沒有具體微震等級且機臺本身重量不重，以獨立腳支撐設備重量并與高架地板作隔離，減少外界對其影響
- 機臺有嚴苛的振動規范及剛性需求，采用高剛性RC結構達到最佳隔震
- 工藝機臺設備本身對振動與剛性需求較高，采用高剛性RC結構達到最佳個陣效果，RC結構表面使用潔凈室許可的環氧樹脂進行處理，光潔度滿足潔凈室標準，滿足設備的要求
特制復合混凝土原料：
- 專為高精準 EUV特制
- 高精細度
- 超高強度混凝土 (11000-15000 psi)制式
產品尺寸：無
產品技術參數：
| 最大位準（u inch/seo） | 制程最小解析度（um） |
|---|
| 125 | 0.1 |
適合機臺：微振規范VC-E、F、G
運用行業：應用于抗震與剛性要求比較高的工藝機臺設備
