產品參數/ Product parameter
機臺本身有振動與剛性需求，或是對位移極為敏感的機臺，以水泥基座來達到最佳隔震效果
產品實物圖片：
產品選型：
產品特點：
- RC型水泥機構
- 高穩定度／高精確度，以確保機臺本身不受任何外界干擾
- 防震及充分安全的生產環境
- 最精確的生產制程使您及您的客戶無后顧之憂
- 安全生產以節省更多后續維修成本
產品優點：此準則為1μm制程的光學檢測設備以及光學平板印刷設備的一良好設備規范標準
產品詳情：
- 機臺有震動與剛性需求，或是對于位移極為敏感的機臺，以水泥基座來達到最佳的隔震效果
- 機臺有嚴苛的振動規范及剛性需求，采用高剛性RC結構達到最佳隔震
- 工藝機臺設備本身對振動與剛性需求較高，采用高剛性RC結構達到最佳個陣效果，RC結構表面使用潔凈室許可的環氧樹脂進行處理，光潔度滿足潔凈室標準，硬度達到700KG/cm2或以上
-硬度達到700KG/cm2或以上修改為：硬度達到700KG/in2或以上
特制復合混凝土原料：
- 專為高精準 EUV特制
- 高精細度
- 超高強度混凝土 (11000-15000 psi)制式
產品尺寸：
產品技術參數：
| 平整度 | 尺寸公差 | 環氧厚度 | 鋼度 | 最大位準
（u inch/seo） | 制程最小解析度
（um） |
|---|
| ≤1.5mm/㎡ | ≤±1mm | ≥3 mm | ≥1.0E+08 N/m | 500 | 1 |
適合機臺：有微震要求
運用行業：應用于PH，MET等區域工藝機臺設備
