產品參數/ Product parameter
機臺有震動要求，機臺本身重量不重，以獨立腳于與高架地板做隔離
產品實物圖片：
產品選型：
產品特點：
- 高穩定度／高精確度，以確保機臺本身不受任何外界干擾
- 防震及充分安全的生產環境
- 最精確的生產制程使您及您的客戶無后顧之憂
- 安全生產以節省更多后續維修成本
產品優點：大部分的設備包括電子顯微鏡 (TEM及SEM)及E-Beam 系統在運轉時都會要求振動環境要在此范圍內才可保障設備性能充分發揮
產品詳情：
- 機臺隔離高架地板震動需求或荷重需求，采用獨立腳（大象腳） 支撐形式，支撐設備重量并與高架地板隔離
- 機臺有震動需求，沒有具體微震等級且機臺本身重量不重，以獨立腳支撐設備重量并與高架地板作隔離，減少外界對其影響
鋼制原料：
- 精確的尺寸
- 光滑表面
- 安裝較容易（10T鋼板固定孔規格:14.5*4 通孔預留孔規格:M10*8 螺紋孔）
產品尺寸：
產品技術參數：
| 平整度 | 傾斜度 | 尺寸公差 | 孔位偏差 | 環氧厚度 | 鋼度 | 最大位準
（u inch/seo） | 制程最小解析度
（um） |
|---|
| ≤1.0 mm/㎡ | ≤1.5 mm | ≤±1mm | ≤±0.5mm | ≥3mm | ≥1.0E+08 N/m | 200 | 0.3 |
適合機臺：隔離高架地板震動
運用行業：應用于ASM，NIKON，CANON，SMEE等區域工藝機臺設備
