產品參數/ Product parameter
機臺無震動或剛性需求，但重量很重，高架地板無法承受，必須再鋼板之下做鋼構補強
產品實物圖片：
產品選型：
產品特點：鋼構或底部鋼構上部RC
產品優點：1000倍以下的光學顯微鏡3μm制程的光學檢測設備及光學平板印刷設備 (包括步進機-steppers) 均可適用此一規范
產品詳情：
- 設備機臺有荷重需求或設備腳位高于700kg/c㎡，高架地板無法承載重量，需采用鋼結構基礎座進行承載
- 機臺無震動或剛性需求，但重量很重，即每平方大于1600KG,必須在鋼板之下作鋼構補強
-設備機臺有荷重需求或設備腳位高于700kg/c㎡修改為：設備機臺有荷重需求或設備腳位高于700kg/in2
鋼制原料：
- 精確的尺寸與基座精密度
- 光滑表面
- 安裝較容易
產品尺寸：
產品技術參數：
| 鋼板厚度 | 平整度 | 尺寸公差 | 烤漆厚度 | 最大位準
（u inch/seo） | 制程最小解析度
（um） |
|---|
| ≥8.0mm | ≤1.5mm/㎡ | ≤±1mm | ≥100μm | 1000 | 3 |
適合機臺：有微振要求
運用行業：應用于CMP，WET，DF，Track等區域工藝機臺設備
